無塵車間凈化工程的潔凈度受氣流影響

日期：2025-11-03 08:37

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摘要：

　　無塵車間的潔凈度往往受到氣流的影響，換言之，即人、機(jī)器隔間、建筑結(jié)構(gòu)等所產(chǎn)生的塵埃之移動、擴(kuò)散受到氣流的支配。無塵車間系利用HEPA、ULPA過濾空氣，其塵埃的收集率達(dá)99.97~99.99995%之多，因此經(jīng)過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。然而潔凈室內(nèi)除了人以外，尚有機(jī)器等之發(fā)塵源，這些產(chǎn)生的塵埃一旦擴(kuò)散，即無法維持潔凈空間，因此必須利用氣流將產(chǎn)生的塵埃迅速排出室外。無塵車間內(nèi)的氣流是左右潔凈室性能的重要因素，一般潔凈室的氣流速度是選在0.25~0.5m/s之間，此氣流速度屬微風(fēng)區(qū)域，易受人、機(jī)器等的動作而干擾趨于混亂、雖提高風(fēng)速可抑制此一擾亂之影響而維持潔凈度、但因風(fēng)速的提高，將影響運轉(zhuǎn)成本的增加，所以應(yīng)在滿足要求的潔凈度水準(zhǔn)之時，能以*適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)，以達(dá)到適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)以達(dá)到經(jīng)濟(jì)性效果。
　　另一方面欲達(dá)到潔凈室潔凈度之穩(wěn)定效果，均一氣流之維持亦為一重要因素，均一氣流若無法維持，表示風(fēng)速有異，特別是在壁面，氣流會延著壁面產(chǎn)生渦流作用，此時要實現(xiàn)高潔凈度事實上。垂直層流式方向要維持均一氣流必須：（a）吹出面的風(fēng)速不可有速度上的差異；（b）地板回風(fēng)板吸入面之風(fēng)速不可有速度上的差異。速度過低或過高（0.2m/s，0.7m/s）均有渦流之現(xiàn)象產(chǎn)生，而0.5m/s之速度，氣流則較均一，目前一般潔凈室，其風(fēng)速均取在0.25~0.5m/s之間。影響潔凈室的氣流因素很多，如制程設(shè)施、人員、潔凈室組裝材、照明器具等，同時對于生產(chǎn)設(shè)施上方氣流的分流點，亦應(yīng)列入考慮因素。
　　一般操作臺或生產(chǎn)設(shè)施等表面的氣流分流點，應(yīng)設(shè)于潔凈室空間與隔墻板間距2/3之處，如此可使作業(yè)人員工作時，氣流可從制程區(qū)內(nèi)部流向作業(yè)區(qū)，而將微塵帶走；若分流點配置在制程區(qū)前方，將成為不當(dāng)?shù)臍饬鞣至鳎藭r大部份的氣流將流至制程區(qū)之后，作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設(shè)施后面，工作臺因而將受到污染，良率也勢必降低。內(nèi)的工作桌等障礙物，在相接處均會有渦流現(xiàn)象產(chǎn)生，相對地在其附近之潔凈度將會較差，在工作桌面鉆上回風(fēng)孔，將使渦流現(xiàn)象減少*低；組裝材料之選擇是否恰當(dāng)、設(shè)施怖局是否完善，亦為氣流是否成為渦流現(xiàn)象之重要因素。

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